AFM对TiN薄膜和聚酰亚胺微观结构的分析

摘要：

论述了一种高精度的原子力显微镜AFM.IPC-208B型机在分子形态学方面的应用,以磁控溅射获得的TiN薄膜和普通的聚酰亚胺纤维为例,从原子力显微镜测得的三维图上探析该TiN薄膜的优先生长面及其在优先生长面上的原子排布和聚酰亚胺的表面形态.这种实验不仅鉴定了测试材料的微观形态,也充分肯定了该原子力显微镜原子量级的精度及其在微观结构领域的潜在发展,为该机应用于微加工领域奠定了基础.

关键词：原子力显微镜、TiN薄膜、聚酰亚胺、微观结构

所属期刊栏目：29

分类号：O059

在线出版日期：2006-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：138-140,145