Al-Zn合金直接氮化过程中ZnO的形成

摘要：

在用Al-Zn合金体系进行直接氮化时形成了ZnO,表明Zn在直接氮化时的作用与Mg存在很大差异.获得了直径远小于1 μm的ZnO长纤维、杆状以及四针状形貌,得到了证明Al-Zn早期直接氮化过程中ZnO是按VS机理生长的3个重要生长动力学特征:加速生长、线性生长和抛物线生长.结果表明,直接氮化过程中Zn的挥发在ZnO的形成中起重要作用,ZnO生长受Zn在Al-Zn合金的扩散控制,其形态与形成时的氧分压有关.

关键词：氧化锌、Al-Zn合金、氮化、机制、挥发

所属期刊栏目：27

分类号：TN304.21(半导体技术)

资助基金：重庆市应用基础研究基金7940;重庆大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：93-96