高分辨率平面测试仪的研制

摘要：

在实际应用中,平面测试仪主要用于工件的微米级测试,从而检验工件是否合格.高分辨率和高稳定度是平面测试仪研制的两大关键技术.采用分辨率扩展的方法可以提高分辨率;同时利用单片机和复杂可编程逻辑器件(CPLD)设计产生高稳定度的信号源,提高了系统的稳定度.内容包括工作原理,测试步骤和硬件设计,并介绍了提高精度的措施.主要由位移传感器,高稳定度信号源,单片机,信号处理单元四部分组成,具有高稳定度,高分辨率,低成本,操作简便的特点,目前已在重庆爱拓利检测仪表有限公司正式投入使用.

关键词：平面测试仪、平面度、高分辨率、高稳定度

所属期刊栏目：26

分类号：TH711(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：71-73