化学浸蚀温度对多孔硅粉理化性质的影响

摘要：

多孔硅是一种由纳米硅原子簇为骨架构成的海绵状结构,具有比表面积高、生物相容性好等特征,能够应用于光电子器件、化学传感、生物医学等领域.笔者以金属硅粉作为研究对象,采用化学浸蚀工艺制备多孔硅粉,利用比表面积测定仪、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜等研究了不同浸蚀温度制备的多孔硅粉比表面积、孔径分布、表面形貌及微结构的变化.结果表明:化学浸蚀方法能够在金属硅粉表面形成含较多纳米尺寸孔洞的多孔硅粉;随着化学浸蚀温度升高,所形成的多孔硅粉比表面积明显增大.

关键词：化学浸蚀、多孔硅、纳米结构材料

所属期刊栏目：26

分类号：O649.4;TQ560.1(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金20007006;中国博士后科学基金;中国工程物理研究院化工材料研究所基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41