10.3969/j.issn.1000-582X.2002.05.025
工业五氧化二钒制备V2O5半导体薄膜分析
用攀钢工业V2O5为原料采用无机溶胶-凝胶法制备V2O5溶胶和凝胶,并用此胶体在不同衬底上制备出透明的半导体V2O5薄膜.研究了胶体粘度对涂膜的影响,以及薄膜电阻率与温度、烘干处理和厚度的关系.用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的微观形貌,用XRD研究了薄膜的成份及其变化.结果表明:胶体粘度对涂膜有较大影响;温度、湿份、薄膜厚度对薄膜电阻率均有较大影响;V2O5薄膜由针状V2O5颗粒组成,在衬底上呈均匀分布,且结构比较密集,其颗粒径向尺寸为0.5~1.0 μm,长度方向为3.0~5.0 μm.烘干处理后颗粒轮廓略有模糊、结构稀疏且尺寸有所长大,同时新生成了一些钒化合物.
V2O5、溶胶-凝胶法、薄膜、电阻率
25
TB381(工程材料学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
97-100