前驱体温度对激光化学气相沉积YBa2Cu3O7-δ超导薄膜结构及性能的影响

摘要：

采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa.研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响.研究表明,Ba、Cu、Y前驱体加热温度分别为603、478、459 K时制备的薄膜在经813 K高温热处理12 h后,临界温度可达83 K.

关键词：激光化学气相沉积、YBa2Cu3O7-δ薄膜、高速沉积

所属期刊栏目：28

分类号：TM26(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金51972241

在线出版日期：2020-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：9-17