镍基合金基体上离子镀TiN薄膜的制备及性能

摘要：

在镍基合金Inconel 740H基底上通过多弧离子镀制备TiN薄膜．控制温度、气体流量、过渡层成分等重要参数，研究其对TiN薄膜的表面形貌、力学性能以及耐腐蚀性的影响．多弧离子镀沉积过程中，沉积温度分别为200、250、300℃；过渡层成分分别为Al、Cr、Ti；气体流量分别为Ar 5 Sccm∶N240 Sccm，Ar 6 Sccm∶N248 Sccm，Ar 8 Sccm∶N264 Sccm．实验结果表明：在本实验的温度范围内，TiN薄膜的致密度、结合力以及表面硬度均随着沉积温度的提高而提高；Cr作为过渡层的效果优于Al和Ti，薄膜成分均匀、表面致密，硬度更高，且耐腐蚀性能优异；在Ar、N2流量比一定的情况下，气体流量对TiN薄膜的表面形貌和力学性能影响不大．本实验的最佳参数是：沉积温度300℃，过渡层成分为Cr，气体流量为Ar 6 Sccm、N248 Sccm．

关键词：表面处理、TiN薄膜、离子镀、纳米压痕、镍基合金

所属期刊栏目：24

分类号：TG178(金属学与热处理)

资助基金：江苏省自然科学基金青年基金 BK20150729；南京工程学院引进人才科研启动基金 YKJ201306．

在线出版日期：2016-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：82-86