10.11951/j.issn.1005-0299.20160301
纳米结构的倾斜角度沉积及性能优化
纳米材料发展的关键是纳米结构的制备、形貌调控和性能优化。倾斜角度沉积是以较大的角度（大于75°）倾斜入射沉积薄膜，通过控制沉积参数，得到具有特殊形貌纳米结构的方法，具有适用范围广，操作便捷，制备的薄膜面积大、纯度高、结构规整等特点，是一种理想的制备纳米材料的方法。本文介绍了采用倾斜角度沉积技术制备氧化铪抗反射薄膜和银基表面增强拉曼基底，详细分析了该方法的参数调控对纳米结构的形貌和性能的影响，并指出将倾斜角度沉积与其他先进技术相结合（以原子层沉积为例），可进一步优化纳米结构的性能，提高倾斜角度沉积的使用范围。
倾斜角度沉积、纳米结构、抗反射膜、表面增强拉曼、原子层沉积
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TB383(工程材料学)
国家重点基础研究发展计划资助项目2013CB934301；国家自然科学基金资助项目51531006，51572148；教育部科学技术研究基础项目113007A；清华大学创新科学研究计划项目．
2016-08-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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