粉末微注射成形ZrO_2微结构表面质量控制

摘要：

采用粉末微注射成形技术制得了二氧化锆陶瓷微结构件,注射成形最小微结构尺寸为φ300 μm×250μm.分析了微注射成形工艺参数、模具抽真空及硅模具对微结构表面质量的影响.实验结果表明在模具温度和注射压力较低时,相同工艺参数下随着微型腔尺寸的减小微结构顶端的表面平整度逐渐下降,提高模具温度和注射压力以及注射前对模具进行抽真空可以改善微结构表面平整度.另外,注射前的模具抽真空有助于减少微结构的表面气孔.亚微米陶瓷超细粉的使用明显改善了烧结后微结构的表面质量,其表面粗糙度值由烧结前的0.33μm降低为约0.28μm.

关键词：粉末微注射成形、微结构、表面粗糙度

所属期刊栏目：18

分类号：TF124(冶金技术)

资助基金：微系统与微结构制造教育部重点实验室开放基金资助HIT.2009004;哈尔滨工业大学科研创新基金

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：129-132