使用梯度过渡层的掺Cr碳膜的显微组织特征

摘要：

为了探究C、Cr两种主要成膜元素在非晶碳膜中的存在和分布状态,采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备出了具有梯度过渡层的掺Cr碳膜,利用高分辨透射电子显微术(HRTEM)分析了薄膜的显微组织.结果表明,沉积在硅晶片上的纯Cr底层具有典型的柱状晶结构,其上的梯度过渡层则由各种形态的Cr纳米晶和富碳非晶基质构成.沿薄膜生长方向,随着Cr含量逐渐降低,过渡层中的Cr纳米晶依次形成层片晶、岛状晶和微晶.掺Cr碳膜的工作层则是一种非晶的纳米多层膜.膜中的C始终以非晶态存在,所观察到的结晶相均属金属Cr,同时纯Cr层柱状晶和过渡层中的各种Cr纳米晶都不同程度地具有(110)晶面的择优取向.

关键词：非晶碳膜、梯度过渡层、显微组织、择优取向

所属期刊栏目：18

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划资助项目2005AA33H010

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：83-88