纳米晶ZnFe_2O_4薄膜的制备及其丙酮气体敏感性能研究

摘要：

以尖晶石结构ZnFe_2O_4材料为研究对象,以可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶技术在Al_2O_3基片上制备了ZnFe_2O_4薄膜,研究其对低浓度丙酮气体的敏感特性.通过DTA,TG,XRD及SEM分析手段对制膜过程及薄膜形态进行了表征.研究发现,采用柠檬酸作为络合剂的无机盐原料溶液-溶胶-凝胶(ISG)工艺,在700℃烧结温度下,可以得到覆盖良好、结构均匀、晶粒尺寸约在100 nm的尖晶石结构ZnFe_2O_4薄膜.通过该薄膜对丙酮气敏特性测试表明,ZnFe_2O_4材料对丙酮具有较好的敏感性,在550℃的操作温度下,材料对丙酮气体敏灵敏度为8,响应与恢复时间小于5 s.

关键词：ZnFe_2O_4、薄膜、溶胶-凝胶法、丙酮、气敏

所属期刊栏目：18

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：日本Sheet Glass材料科学与工程基金资助项目301-05340

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26