基体预处理对氧化铍基金刚石膜性能的影响

摘要：

通过改变氧化铍基体的预处理方法,研究了热丝化学气相沉积系统中金刚石薄膜与氧化铍基体的结合情况,及其对导热性能的影响.分别利用金相显微镜和扫描电镜观察薄膜的剥落程度和其表面形貌,利用激光热物性测试仪测量基体和金刚石膜/氧化铍复合体的热扩散系数,并计算其热导率.实验结果表明:水磨砂纸研磨和氢氟酸处理均能有效提高金刚石薄膜与基体的结合情况;氢氟酸处理时间10 min时可得到致密连续、表面均匀的金刚石薄膜,此时复合体的热导率较原来的氧化铍基体可提高31.4%.

关键词：热丝化学气相沉积、金刚石薄膜、基体预处理、氧化铍、热导率

所属期刊栏目：18

分类号：TQ164

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22