氧化锌薄膜的P型掺杂及光学和电学性质研究

摘要：

为了实现氧化锌薄膜的p型掺杂,从而制备氧化锌同质p-n结,采用化学气相沉积法,以二水合醋酸锌为前驱,醋酸铵为氮源,在氧气氛下制备了氮掺杂的p型氧化锌薄膜.利用X射线光电子能谱和X射线衍射分析,表征了氧化锌薄膜的化学成分.通过霍尔效应测量证实了薄膜的p型导电特性.探讨了制备过程中温度、压强、源物质等条件对反应产物的影响,研究了薄膜的光学和电学特性,得到了p型氧化锌薄膜的吸收光谱和光致发光光谱,以及氧化锌p-n结的伏安特性曲线.

关键词：ZnO薄膜、掺杂、p-n结、光致发光

所属期刊栏目：17

分类号：TN304;TB383(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展规划项目2001CB610503;国家自然科学基金资助项目60471007,60471008,90406024,50672002;北京市自然科学基金资助项目4042017

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：686-690,695