RF-PCVD法制备TiO2纳米微晶动力学分析

摘要：

本文分析了以TiCl4+O2为反应体系的RF-PCVD反应器内TiO2气相反应、成核和粒子长大过程,采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了粒子长大的动力学模型,该数模为一非线性一阶微分方程,描述TiO2微晶长大的速率.模型表明:粒子的长大速率与温度的1/2次方、TiO2的浓度成正比,与粒径的3/2方成反比;故体系中存在长大过程的自约束现象,在实验条件下,根据粒子长大数模的计算值与实验结果相接近.

关键词：高频等离子体、化学气相沉积、纳米粉体、二氧化钛、动力学

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分类号：TB0614.41

资助基金：山西省青年科技基金20051009;山西省归国留学人员基金2004-23;山西省专利推广实施项目2006-05

在线出版日期：2016-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：199-202,207