10.3969/j.issn.1005-0299.2007.02.029
溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展
概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用.指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法,有着广阔的应用前景.
溶胶-凝胶法、ITO薄膜、制备、工艺、应用
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TQ427;TG156
2007-06-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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