提高蓝宝石高温强度和透过率的研究

摘要：

在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行了高温强度测试及其透过率的研究.研究表明:镀膜后蓝宝石的高温强度和透过率均有明显提高;800℃时,镀膜蓝宝石的高温强度比未镀膜提高了41.0%;在3～5μm波段范围内,室温下镀膜后透过率比镀膜前提高8.0%;SiO2/Si3N4膜系具有较高的热稳定性,且与蓝宝石衬底附着良好.

关键词：磁控溅射、SiO2/Si3N4 薄膜、蓝宝石、高温强度、透过率

所属期刊栏目：15

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科技预研项目41312040402

在线出版日期：2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54