改性金刚石膜的形貌、结构和附着性能

摘要：

为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2sccm时,膜/基附着力性能最好.

关键词：改性金剐石膜、化学气相沉积、碳钨化合物、附着力性能、氧气

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分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目1999056121;广东省博士启动基金04300026;广东省博士启动基金013004

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：109-112