碳化硅内膜空芯传能光纤的研究

摘要：

为了改进空芯传能光纤对10.6μm处CO2激光的传输性能,研制了具有SiC内膜的新型空芯玻璃波导,利用SEM和FTIR等技术分析了反应条件对SiC膜层结构、物相的影响,并测试了光纤的性能.结果表明:温度是影响SiC膜层的重要因素;制得的孔径为950 μm,长为2.5 m的SiC传能光纤理论损耗约为0.7 dB/m,实际传输损耗为0.74 dB/m;SiC的吸收蜂有蓝移现象.

关键词：空芯玻璃波导、CO2激光、红外传能光纤、SiC薄膜、CVD

所属期刊栏目：11

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-01- 0212

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：132-135