Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜新进展

摘要：

从底电极的选择、过渡层的引入、外延膜的生长、取代阳离子的改性四个方面介绍了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究进展,简述了PZT的Sol-Gel机理研究现状和引起PZT铁电薄膜极化疲劳的原因,分析了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜研究中存在的问题,并提出展望.

关键词：PZT、铁电、薄膜、Sol-Gel

所属期刊栏目：9

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国防科技预研基金OOJ18.5.2HT0133

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：442-448