非晶碳氢薄膜结构及光学间隙

摘要：

利用完全抑制网络结构(FCN)对氢化非晶碳(α-C :H)膜组成进行模拟计算,得出形成质密α-C:H膜条件是H、SP2C和SP3C在其三元相图中应在一个三角形区域内.大量实验数据表明,模拟结果与实验结果相当吻合.在α-C:H中主要存在氢、四面体碳、乙烯、苯环和双苯等结构,它们相对含量在三角形区域内变化.该理论模拟对薄膜光学间隙的实验分析给予了很好的解释.

关键词：氢化非晶碳膜、完全抑制网络结构、光学间隙

所属期刊栏目：8

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61