Al-N共掺杂型ZnO薄膜的制备及其性能研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了Al-N共掺ZnO薄膜.用X射线光电子能谱检测Al-N共掺杂情况;用X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫描电镜、分光光度计、霍尔测量仪等分析测试手段,分别研究了Al-N共掺的掺杂浓度和热处理温度对薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能的影响.结果表明:在基质ZnO溶胶浓度为0.5mol/L,Al-N掺杂摩尔浓度为10%,热处理温度600℃下,Al-N共掺ZnO薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能最佳.

关键词：掺杂、ZnO、光电性能、薄膜

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2011-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-16