用于太阳能电池的多晶硅锭片晶体学特征研究

摘要：

用背散射电子衍射分析技术研究铸造多晶硅锭切片的晶体学特征.结果表明:多晶硅锭晶体内部几乎没有取向差,取向差主要存在于晶界处;多晶硅锭切片中的大部分晶界为大角度晶界,且以Σ3为主,同时还存在少量小角度晶界.多晶硅制作太阳能电池转换率低可能与Σ3所占比例过高有关.

关键词：多晶硅锭片、EBSD、取向差、晶界、Σ3

分类号：TN304.052;N16(半导体技术)

资助基金：南昌航空大学科研基金资助项目EC200703025

在线出版日期：2009-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13