10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.062
环境气体对激光烧蚀制备纳米Si晶粒平均尺寸的影响
采用脉冲激光烧蚀装置,在不同环境气体下,沉积制备了含有纳米Si晶粒的薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)观察样品的表面形貌,并对晶粒尺寸进行统计分析,发现不同环境气体下,纳米Si晶粒平均尺寸均随衬底与靶的距离增加有着先增大后减小的规律;通过分析比较,同等条件下Ne气环境下制备的纳米Si晶粒平均尺寸最小.
脉冲激光烧蚀、纳米Si晶粒、平均尺寸、环境气体
O484.1(固体物理学)
国家自然科学基金资助项目10774036;河北省自然科学基金资助项目E2005000129,E2008000631;河北省教育厅自然科学资助项目Z2007222
2008-11-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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