二极管裂纹失效分析

摘要：

@@ 大功率和短波激光二极管在810nm波长时,其最大输出功率为100mW.它要求在实际工作条件下达到高可靠指标(MTTF应超过5000h).为了保证高可靠性,该二极管内采用了长空腔和金刚石子支架.但是,在试生产期间,经过温度循环之后,一些样品发生了光电失效.失效样品的破坏性物理分析(DPA)显示,二极管芯片上的裂纹把芯片分成两部分.因此,空腔受到芯片裂纹的破坏而导致失效,为了查找二极管芯片产生裂纹的工序和原因,我们重复了激光二极管原来的组装工序,对每个工序中的样品做了检验,并观测到:

机标关键词：激光二极管、裂纹失效分析、二极管芯片、破坏性物理分析、最大输出功率、样品、组装工序、芯片裂纹、温度循环、试生产期、空腔、可靠指标、光电失效、工作条件、高可靠性、大功率、支架、显示、石子、金刚

分类号：TQ0;TN3

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：380-380,381