扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

摘要：

阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

关键词：电压衬度像、充电现象、开路

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：328-329