热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究

摘要：

对热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内的三种传热方式(传导、对流和辐射)进行了比较分析,数值计算了气相空间温度分布和衬底表面二维温度分布.采用热丝化学气相沉积工艺制备了金刚石薄膜,扫描电镜结果显示金刚石薄膜在不同生长区域呈现出与温度分布相关的微观结构与形貌.

关键词：热丝化学气相沉积、金刚石、温度场、薄膜生长

分类号：TQ164,8;P423

资助基金：国家自然科学基金59976038

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-34,16