基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计

摘要：

针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案.结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性.该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元,采用前馈补偿和气压反馈PID控制策略,通过调节PWM占空比控制送气流量,以实现对离子源放电室气压的有效控制.实验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制,基于该控制方式的送气系统能够满足射频离子源放电实验要求.

关键词：气压控制、射频离子源、PWM控制方式

所属期刊栏目：32

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-90