10.3969/j.issn.1000-8829.2005.11.003
硅微机械陀螺仪结构中的电容分析
为减小杂散电容提高信噪比,分析了硅微机械陀螺仪结构中的电容.并以某硅微机械陀螺仪的理论模型为对象,建立了陀螺仪结构中的电容模型.对每种电容进行了理论分析,并借助电路仿真软件对模型进行了仿真,分析了杂散电容对输出的影响,结果表明布线与活动结构间的电容对输出有很大的影响.提出了采用新工艺和合理的布线方法减小与活动结构间的电容,从而提高信噪比.
硅微机械陀螺仪、信噪比、杂散电容、电容模型
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V241.5+54;O472(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)
国家高技术研究发展计划863计划2002AA812038;总装备部科研项目41308050109
2005-12-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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