带管腔应变式压力传感器多自由度建模法

摘要：

采用"共振峰提取"的方法对带管腔结构的平膜片应变式压力传感器建立了动态数学模型.利用传感器的时域校准数据得到了传感器的参数模型,进而求得了传感器的频率特性.实验结果和仿真计算表明,"共振峰提取"法在传感器动态模型建立方面有一定的工程应用价值.

关键词：应变式压力传感器、平膜片、管腔、传递函数、频率特性

所属期刊栏目：18

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：6-8