PI电容湿度传感器结构改进与性能分析

摘要：

本文分析了电容型湿度传感器的电极和感湿膜的几何形状,设置感湿膜单元结构为圆柱体或者瓶径体等形状,增大接触面积以减少响应时间,整体感湿膜单元排列成圆环形阵列,上电极也采用圆环形阵列排列,覆盖在感湿单元阵列上方.最后对设计的传感器灵敏度,响应时间等性能进行了分析,得出了有益的结论.

关键词：聚酰亚胺、电容湿敏元件、圆柱体、圆电极、阵列

所属期刊栏目：13

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33