半导体压力传感器研制现状与开发动向

摘要：

随着IC制造技术的迅速发展,硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐,对其开发研制相当盛行.本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向.

关键词：IC(集成电路)、集成化、压阻效应、非易失、RAM(随机存取存储器)

所属期刊栏目：13

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13