带有阶梯沟槽结构音叉型石英晶体谐振器设计研究

摘要：

为了解决表面贴装器件(SMD)型压电石英音叉晶体的振动阻抗过大的问题,提出了一种带有阶梯沟槽结构的Z切压电石英音叉晶体谐振器.首先,从振动原理上结合压电石英晶体各向异性材料因腐蚀工艺导致结构的不对称性解释阻抗过大的机理;然后,提出一种新结构弥补因腐蚀工艺带来音叉晶体结构不对称的问题.基于有限元仿真计算出音叉晶体谐振器的振动分布情况,通过仿真分析发现新型结构有效降低音叉双叉振梁面内弯曲的不对称性,改善了音叉晶体谐振器的振动特性,降低了器件的阻抗.

关键词：阶梯沟槽、面内弯曲、对称振动、阻抗

所属期刊栏目：43

分类号：TP212;O733(自动化技术及设备)

资助基金：四川省科技厅重点研发资助项目2022YFS0504

在线出版日期：2024-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-35