基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器

摘要：

提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器.利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3 N4)膜构成.实验分析了传感器不同膜片结构的性能.结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为 38.86 mPa时,信噪比为 80.18 dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2.此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用.

关键词：光纤传感器、光纤法布里—珀罗、氮化硅膜、波纹膜结构

所属期刊栏目：42

分类号：TP212;TP216.1(自动化技术及设备)

资助基金：国网河南省电力公司科技攻关项目002126

在线出版日期：2023-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：90-93