基于柔性材料的热式MEMS医用输液流量传感器的研发

摘要：

提出了一种新型的基于柔性基底的用于测量输液速度的热式微机电系统(MEMS)流量传感器.传感器由树脂打印的外壳、柔性元件以及外部电路组成.应用热损失原理,通过控制电路使发热镍(Ni)线恒温工作,通过测温Ni线检测发热Ni线上游的温度变化来反映输液流速.首先,对传感器进行了仿真验证,确定传感器关键参数.使用光刻、磁控溅射等技术在聚酰亚胺(PI)基底上加工Ni线并在表面镀了一层派瑞林来进行防水处理.传感器核心元件尺寸为1cm×2cm,封装后的尺寸为6cm×2cm.使用不同温度的生理盐水对传感器进行了标定,在热源温度50℃时,其精度可达 5mL/h,量程可达 300 mL/h,满足日常输液使用.

关键词：微机电系统、医用流量传感器、柔性材料、热损失

所属期刊栏目：42

分类号：TP212.3(自动化技术及设备)

资助基金：深圳市科技计划资助项目JSGG20201201100401004

在线出版日期：2023-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86