电容式超声换能器在医疗领域的研究进展

摘要：

随着超声技术和大规模集成电路的高速发展,各生产领域对电容式微机械超声换能器(CMUT)的研制成本、器件灵敏度、带宽比、成像帧率等性价比需求显著提高.从CMUT的主要应用方向超声医疗领域的研究为切入点,对CMUT在超声成像和超声治疗中的应用机理进行简述,并列举CMUT在超声医疗领域中的代表性研究成果.同时,综述了目前科技研究中CMUT的主要研制工艺与阵列结构,并对CMUT的结构及制造工艺进行了总结和比较,为CMUT在超声医疗领域中的科技创新做出展望.

关键词：电容式微机械超声换能器阵列、工艺制造、超声成像、超声治疗

所属期刊栏目：42

分类号：TP212;TB552(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金61575144

在线出版日期：2023-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14