MEMS微热板研究进展

摘要：

随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展.采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度.因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问题.本文从微热板的基本原理出发,讨论了微热板结构设计和电极几何形状的技术发展,并对微热板国内外研究现状和关键性能参数进行了总结评价.

关键词：气体传感器、微机电系统、微热板、加热电极

所属期刊栏目：42

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划2018YFC0809300

在线出版日期：2023-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10