用于大气数据系统的硅谐振压力传感器

摘要：

设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器.采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点.芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作为谐振器部分,以减小面外谐振模态带来的性能影响.测试结果表明:在量程范围为3～130 kPa,温度范围为-55～85℃,该谐振压力传感器的全温全压精度高达0.01％FS.

关键词：硅谐振压力传感器、复合谐振梁—膜—硅岛结构、高精度、微机电系统

所属期刊栏目：42

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：160-163