压电驱动喷射点胶阀系统性能的仿真与实验

摘要：

压电喷射阀因其高频、胶滴均匀以及可实现纳升量级的微量胶滴喷射,而被广泛应用于微电子封装.建立了压电喷射阀的机械系统动力学自动分析(ADAMS)仿真模型,基于模型定义流体动力学模型中喷针的运动,实验验证了仿真模型的合理性.通过实验和仿真,研究了喷射阀的动态性能和胶滴喷射的动态过程,分析了胶液填充速度对胶滴体积的影响规律.实验探究了不同行程下喷射阀的喷射性能,胶滴体积的一致性误差不超过 ±6％,绝对误差随行程增大而增大,当行程为0.06 mm时,相对误差不超过±3％.

关键词：微电子封装、点胶技术、压电驱动、机械系统动力学自动分析、流体仿真

所属期刊栏目：42

分类号：TN403(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金51705538

在线出版日期：2023-02-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：46-49,54