新型结构压电石英晶片去耦效应的研究

摘要：

针对中低频光刻工艺的小型化压电石英晶片,为解决双台面(BI-MESA)型压电石英晶片的寄生耦合振动的影响,以及封装过程中点胶区域对振动区域的力频效应影响导致温—频特性的阻抗跳动.提出一种带有沟槽的BI-MESA型AT切压电石英晶体谐振器,并通过有限元仿真谐响应分析方法,给出其振动幅—频分布情况和势能分布情况.仿真分析比较发现,晶体表面沟槽的设计可有效抑制振动传播到点胶区域产生力—频效应的影响,改善BI-MESA谐振器的振动特性.

关键词：双台面形状、沟槽结构、能陷效应、模态耦合

所属期刊栏目：42

分类号：TP212;O733(自动化技术及设备)

资助基金：四川省科技厅重点研发资助项目2022YFS0504

在线出版日期：2023-02-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-25,29