一种基于微波法珀谐振腔的高精度位移传感器

摘要：

提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器.位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成.两个高反射点构成谐振腔,位移变化改变了谐振腔的腔长,进而改变了谐振波长和谐振频率,通过测量谐振波长大小即可确定位移.此外,弹簧和顶珠结构使得位移在缓慢变化过程中,传感器可达到全量程没有跳数.实验结果表明:在30 mm量程范围内,传感器分辨率1μm,谐振波长变化量与位移的比值为-1.9287.同时研究了位移传感器的温度影响.传感器具有机械鲁棒性强、低温度依赖性、低成本、高精度等优点.

关键词：位移传感器、谐振腔、内外导体、反射点、谐振波长

所属期刊栏目：41

分类号：TP212;TN606(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：105-108