基于蓝光DVD光学读取头的纳米触发测头

摘要：

基于光学读取头改装的非接触式微纳米测头已广泛应用于阶高、线宽和微小角度的测量.为了追求更高的精度与分辨力而提高聚焦透镜数值孔径(NA)则会使读取头内四象限传感器输出聚焦误差信号曲线的线性区间急剧减小,从而使测头系统的纵向可测量范围降低.为了在进一步提高纵向分辨力的情况下,扩大其纵向测量行程,基于蓝光DVD读取头研发了一种触发式非接触测头.既利用高NA值透镜测头的高精度和高分辨力,又通过触发测量的方式解除了高NA值带来低测量范围的限制,提高了测头的适用性.实验结果表明:该测头的纵向分辨力优于1 nm,重复性误差为18 nm,纵向测量范围可达10μm.

关键词：光学非接触测头、蓝光DVD读取头、触发器、聚焦误差信号

所属期刊栏目：41

分类号：TP212;TH711(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金51875163

在线出版日期：2022-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72