基于SU-8光刻胶的微光学元件制备工艺研究

摘要：

面向光学传感器微型化需求,针对传统光学元件体积偏大和不易集成等问题,探索了使用SU-8光刻胶制备聚合物微型透镜等光学元件的全套制备工艺.对工艺中存在的问题进行逐一解决,创新性地使用长时间45℃低温前烘技术解决了厚SU-8结构制备过程中易脱落和侧壁均匀程度差的问题.并根据光刻胶使用场景的不同,给出了在平面结构上的甩胶和沟槽结构中的喷胶工艺参数及方法,为光学元件微型化提供了解决方案.经过显微镜和台阶仪测试,平面结构上SU-8光刻胶最大制备厚度可达180μm,沟槽结构中使用喷胶工艺制备厚度可达200μm以上,结构厚180μm时,侧壁顶部与底部最大线宽差小于2μm,使用光学平台和激光器对微光学元件进行了简单测试,均符合设计预期.

关键词：SU-8光刻胶、微光学元件、制备工艺、低温前烘、聚合物

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;宁波市科技创新重大专项项目;宁波大学海洋学科群项目;王宽诚基金资助项目

在线出版日期：2022-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-26