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10.13873/J.1000-9787(2022)11-0014-04

大气压环境下的镜像电荷检测器仿真研究

引用
镜像电荷检测器(ICD)的结构简单、成本低廉,是质谱领域中唯一一种具有无损特性的检测器.研究了大气压条件下传统圆柱形ICD的性能,结果表明:此时感应电流极低,寄生电容为噪声的主要来源之一.基于传统的圆柱形ICD,设计了一种新型半圆锥形ICD,仿真结果表明:不同粒子速度下,信号的峰峰值提高了61.4%~69%.首次发现检测电极与屏蔽装置的间距也会影响信号的强度,当气流速度为3 m/s、间距为0.5 mm时,新型ICD的信号强度最高可达原来的2.86倍,电荷-电压之间的放大增益AQ-V为0.061 mV/e-,同时寄生电容降低了36.4%.本文对ICD脱离真空使用限制,实际运用于大气压环境下,通过低速气流载运带电粒子的质谱仪器具有重要意义.

镜像电荷检测器、感应电流、寄生电容

41

O657.63;TP212(分析化学)

国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家重点研发计划;浙江省重点研发计划资助项目;浙江省自然科学基金资助项目;宁波市科技项目;宁波市公益类科技项目;宁波市公益类科技项目

2022-11-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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传感器与微系统

1000-9787

23-1537/TN

41

2022,41(11)

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