10.13873/J.1000-9787(2022)08-0157-04
MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展
综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况.在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造.针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题.
微机电系统水听器、结构设计、国内外现状
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TP212(自动化技术及设备)
2022-08-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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