MEMS水听器国内研究现状与未来技术发展

摘要：

综述了微机电系统(MEMS)水听器近15年在国内的发展情况.在MEMS水听器的技术发展过程中,从压阻式、压电式、电容式、纤毛式等结构到基于新一代半导体氮化镓材料的MEMS水听器,MEMS水听器的发展不仅从单一化走向阵列化,而且未来的水听器走向更适合批量制造.针对国家海洋战略,未来批量制造的MEMS水听器,在封装和标定技术方面,提出了几个值得注意的技术问题.

关键词：微机电系统水听器、结构设计、国内外现状

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：157-160