电容式微机械超声换能器的电流信号检测电路设计

摘要：

针对在接收超声波信号时电容式微机械超声换能器(CMUT)输出的微弱电流信号检测需求,设计了一种高频微弱电流信号低噪声放大电路,该电路将CMUT换能器输出电流信号转换并放大为电压信号,并将该放大电路和CMUT换能器集成于同一印刷电路板(PCB)基板上,减小了检测电路连接线对CMUT换能器输出性能的影响,提高了整体性能.首先对该低噪放大电路结构进行了交流小信号仿真,并进行了实验验证,然后对CMUT换能器的信噪比、线性度与带宽进行了测试.测试结果表明:集成后的CMUT换能器信噪比为50.62 dB,中心频率工作时的线性度为1.612％,6 dB相对带宽为101.98％.

关键词：电容式微机械超声换能器、低噪放大电路、频谱响应、集成化、信噪比、宽频带

所属期刊栏目：41

分类号：TP212;TB552(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科研仪器研制项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：96-100