基于ELCR的双模微波湿度传感器

摘要：

基于电耦合电感电容谐振器(ELCR)设计并制造了一种新型聚酰亚胺微波湿度传感器(PMHS),PMHS的双谐振点位置与幅度可按检测需求灵活调节.实验结果显示:在10％～90％RH的湿度范围内,PMHS在1.2 GHz处谐振点偏移量和2.085 GHz处反射系数增量与湿度变化成线性关系,双模线性度R2分别为0.9854和0.9987,两者的检测灵敏度分别为83.8 kHz/％RH和0.117 dB/％RH.该研究表明:多谐振微波传感器可作为一种新方案实现宽范围、高线性度、高灵敏度的湿度检测.

关键词：电耦合电感电容谐振器、聚酰亚胺微波湿度传感器、双谐振点、高灵敏度、宽范围

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;江苏省自然科学基金青年科学基金资助项目;中国博士后面上资助项目;中国博士后特别资助项目

在线出版日期：2022-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-68,80