绝缘层烧结收缩率对氧传感器输出特性的影响

摘要：

极限电流型氧传感器芯体由绝缘层材料、支撑层材料及敏感层材料共烧结制备而成,在芯体的烧结过程中,材料烧结收缩率不一致产生的内部应力会导致孔结构的变形开裂,从而严重影响极限电流氧传感器的输出特性.针对这一问题,采用5种具有不同烧结收缩率的绝缘层材料,经过厚膜丝网印刷、叠片热压、多层共烧制备了极限电流氧传感器,并对氧传感器芯体孔结构形貌与输出特性的关系进行分析.结果显示,绝缘层材料的烧结收缩率与支撑层烧结收缩率差值为2.43％,与敏感层的烧结收缩率差值为3.97％,极限电流氧传感器芯体孔结构处分层开裂现象消失,芯体在氧气(O2)体积分数为20％的气氛下具有良好的电流平台,在0.5～1.6 V工作电压范围之间,电流变化为0.135μA.

关键词：共烧结、极限电流、氧传感器、烧结收缩率

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：48-51