10.13873/J.1000-9787(2022)07-0025-04
基于简易非本征法—珀腔的大量程纳米位移传感器
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量.基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里—珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量.其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构.传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小.该传感系统可测量64.52~970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm.提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径.
非本征法布里—珀罗干涉、白光低相干、一维位移测量、互相关算法
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TH822;TP212
2022-07-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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