基于简易非本征法—珀腔的大量程纳米位移传感器

摘要：

微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量.基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里—珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量.其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构.传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小.该传感系统可测量64.52～970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm.提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径.

关键词：非本征法布里—珀罗干涉、白光低相干、一维位移测量、互相关算法

所属期刊栏目：41

分类号：TH822;TP212

在线出版日期：2022-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28