W波段直板型电容式MEMS开关设计

摘要：

针对卫星通信、6G通信、物联网技术等射频前端系统对电子元器件高频工作性能的需求,设计了一种工作在W波段的直板型电容式射频(RF)单刀双掷开关.通过优化介电层材料和开关电极之间的空气间隙,降低了插入损耗、提高了隔离度等射频性能指标.利用HFSS电磁仿真软件对开关性能进行了数值模拟计算,仿真结果表明:所设计射频单刀双掷MEMS开关在80～100 GHz范围内,其插入损耗小于1.7 dB,隔离度大于40 dB,开关整体尺寸约为1.6 mm×1.6 mm.此开关能够满足射频系统前端对高频电子元器件的性能需求,在微波测试仪器、新一代通信系统中具有一定的应用价值.

关键词：射频微机电系统、W波段、单刀双掷、插入损耗、隔离度、卫星通信

所属期刊栏目：41

分类号：TN389(半导体技术)

资助基金：装备发展部新品项目;装备发展部新品项目;中北大学青年学术带头人项目

在线出版日期：2022-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77