10.13873/J.1000-9787(2022)06-0052-04
MEMS光纤温度氢气传感器在油状态监测中的应用研究
通过将微机电系统(MEMS)加工技术与光纤传感器技术相结合的方法,将温度感知模块和氢气感知模块集成在温度氢气MEMS光纤复合传感器内部,并在25号绝缘油中完成油温和油中溶解氢气的可行性验证实验.实验结果表明:温度感知模块在35~85℃的绝缘油温度范围内有良好的线性度,其灵敏度为14.5 pm/℃;氢气感知模块对油中溶解氢气有较强的响应,且完成氢气体积分数测量后,光谱峰值可恢复至初始状态.验证了该复合传感器在油中气体检测应用的可行性.
微机电系统、光纤、传感器、温度、氢气含量、在线监测
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TP212(自动化技术及设备)
上海交通大学新进青年教师启动计划基金资助项目21X010500824
2022-06-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
52-55,60